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晶圆与掩膜版检测设备

在晶圆表面缺陷检测的场景,大理石平台可实现高速运动的精确定位,保证相机对晶圆的平稳扫描及成像
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  • 发布日期:2026-07-21
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在晶圆表面缺陷检测的场景,大理石平台可实现高速运动的精确定位,保证相机对晶圆的平稳扫描及成像