XYZ 6轴组合系列

• 单向位置重复精度：±50nm
• θxθyθy单向位置重复精度：±0.003~0.005°
• θxθyθy行程：5~8°
•最大水平负载可达：6kg

产品参数 Specification

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型号表示方式 Model Selection

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